산업포털여기에

활용분야

l  MFC에 DC전원 공급

l   사용자가 원하는 유량 값 세팅

l   실제 흐르는 유량 확인

주요특징

l  조작의 편리성 향상

l  입출력 단자의 모듈화로 적은 비용으로 입출력 형태 변형 가능

l  전체 채널의 동작을 한눈에 확인 가능

l  해상도 높은 ADC와 DAC 사용으로 더욱 정밀한 측정 및 컨트롤 가능

l  산업용 구격으로 설계 제조하여 안정성 및 내구성이 향상

l   온도 및 습도 변화에 따른 제품 성능변화가 거의 없음

Model 400 Flo-Controller는  

▶적은 공간에서 Flow 콘트롤이 용이함.

▶정확한 Flow 측정과 controller을 위한 Flo-Sensor와 needle valve 일체형.

▶NIST Calibration 성적서 포함.

Model 400은 액체 Flow 컨트롤러 로서 물 또는 부식성이 없는 액체에 사용하기 위하여 설계된 제품이다. Stepper motor-actuated motor valve에 액체 Flo-sensor를 통합시키고 setpoint와 비교한 결과에 따라 바늘이 움직이도록 하는 전자 기술이 사용되었다.

Model 470 컨트롤Unit는 Model 400을 보다 손쉽게 사용할 수 있는 환경으로 만들어 준다. 이 제품은 디지털 표시기능, 조정이 가능한 setpoint Potentiometer, Flo-Controller용 의 전원도 제공한다. 케이블 선택사항을 참조하면 사용자는 먼 거리에서도 Model 470을 통하여 Model 400에게 0-5VDC 신호를 주고 받을 수 있다.

Model 470에 부착된 스위치를 이용하여 setpoint를 내부 또는 외부용으로 사용할 수 있도록 하였다.이 제품은 Valve Unit와 Control Unit는 물론이고 Power adapter까지 포함된 package로 구성되어 사용의 편리함을 줄 것이다.

Model 400 Flo-Controller는  

▶적은 공간에서 Flow 콘트롤이 용이함.

▶정확한 Flow 측정과 controller을 위한 Flo-Sensor와 needle valve 일체형.

▶NIST Calibration 성적서 포함.

Model 400은 액체 Flow 컨트롤러 로서 물 또는 부식성이 없는 액체에 사용하기 위하여 설계된 제품이다. Stepper motor-actuated motor valve에 액체 Flo-sensor를 통합시키고 setpoint와 비교한 결과에 따라 바늘이 움직이도록 하는 전자 기술이 사용되었다.

Model 470 컨트롤Unit는 Model 400을 보다 손쉽게 사용할 수 있는 환경으로 만들어 준다. 이 제품은 디지털 표시기능, 조정이 가능한 setpoint Potentiometer, Flo-Controller용 의 전원도 제공한다. 케이블 선택사항을 참조하면 사용자는 먼 거리에서도 Model 470을 통하여 Model 400에게 0-5VDC 신호를 주고 받을 수 있다.

Model 470에 부착된 스위치를 이용하여 setpoint를 내부 또는 외부용으로 사용할 수 있도록 하였다.이 제품은 Valve Unit와 Control Unit는 물론이고 Power adapter까지 포함된 package로 구성되어 사용의 편리함을 줄 것이다.

모델 U701의 특징은 공간활용을 위한 U자 흐름형태를 가지며, Pulse output 출력을 가진다. 

▶특허 출원된 microturbine은  “No zero drift”와 높은 재현성의 flow 측정값을 제공 할 것 이다.

▶모든 high-purity 접촉 표면: PTFE, Kal-Rez, 그리고 사파이어로만 되어있다.

▶CMP slurries, acids, solvents및 그 외의 여러 high-purity 액체에 적용이 가능하다. 

Model U701 Ultra-High-Purity(UHP) Flo-Sensor는 최저 15 mL/minute, 최고 50 LPM 까지 어떠한 유체의 flow rate 도 정확하게 측정한다.

특허 등록된 microturbine 유량 sensor의 독특한 디자인이 이런 반복적인 결과를 얻을 수 있도록 도와 줄 것이다. 

U701의 flow sensor 는 McMillan 이 특허받은 microturbine 을 장착하였다. Pelton 터어빈의 기술을 Microturbine 에 접목시킨것이다. 이와 같은 유형의 디자인은 약 0.8 인치에 (20 mm)  초소형의  microturbine 휠의 사용을 가능케한다. 또한 이제품은 고정되어있는두개의 매우 작은 사파이어 베어링이 사파이어 샤프트를 받쳐주고 있으며, 휠과 샤프트가 가볍기 때문에 microturbine 휠은 액체상에서 떠오르게 된다.  이 효과로 터빈-휠을 베어링의 중앙에 매달려있게 해줌으로써 샤프트와 베어링쪽의 마모가 생기지 않으며 particle 이 발생하지 않는 원리가 된다.

유량 범위에 따라 정밀기계로 가공된 구멍(오리피스)을 통하여 유량이 센서를 통과하면 이 흐름이 휠로 전달되고, 유량이 증가 할 수록 휠의 회전 속도도 증가하게 된다.

이러한 속도의 증가는 유량의 흐름 비율과 정비례한다.

Microturbine 휠은, 휠의 중앙 부분에서  고른 간격을 유지한 8개의 작은 구멍으로 이루어져있다.

그 휠이 회전하면서, 적외선 광선이 테프론 창을 통해 휠에 투영된다..

휠의 다른 편에 있는 센서는 각각의 구멍을 감지하고 신호를 파동으로 변형하여준다. 그러므로, 휠의 회전이 빠르면 빠를수록 더 많은 파동이 만들어지고, 휠의 회전이 멈추면 파동은 생성되지 않는다.