| 제품코드 | G050069 | |
|---|---|---|
| 판매 회사명 | 듀라소닉 | |
| 연락처 | 031-684-5489 | |
| 홈페이지 | - | |
| 제품홍보관 | http://blog.yeogie.com/durasonic |
Overview
- 고주파를 사용하여 세정대상물에 damage를 주지 않고 미세한 이물질을 제거한다.
제품설명
- 독립적인 세정시스템으로 기존의 생산라인에 쉽게 적용할 수 있다.
- 반도체 공정 및 초정밀세정을 요하는 제품에 사용
- 45nm급 이상 오염물 제거
- 200mm ,300mm Wafer, HDD, Glass 등 반도체 공정사용
- CE 인증 by TUV Rheinland
발진기특성
- 디지털회로를 적용하여 0.1Watt단위의 출력을 자동으로 조정하고 표시한다.
- 외부의 통신(RS485)에 의해 출력의 제어 및 표시가 가능하다.
- 넓은 LCD창을 통하여 발진기 상태를 쉽게 알수 있다.
- 전면의 Function키를 이용하여 쉽게 출력, 통신모드등을 설정할 수 있다.
- 상/하한 출력 리미트 설정을 통하여 출력의 변동에 의한 세정대상물의 데미지 및 세정불량을 방지할 수 있다.
- 발진기 및 진동자의 이상을 경보하고 통신 및 접점에 의해 출력한다.
세부사양
| 형식 | DURAMEGA 300 | DURAMEGA 600 |
|---|---|---|
| 동작 주파수 | 975kHz ± 10% | |
| 발진 방식 | 펄스 오실레이터에 의한 위상동기 방식 | |
| 출력 | Max. 300Watt | Max. 600Watt |
| 출력 조정 | 10~100% , 자기 출력 조정 (Auto Turning) | |
| 5단 출력 조정 (24VDC 외부 전원 인가) | ||
| 전원 사양 | 200~240Vac , 50/60Hz | |
| Rated 전류 | 4A | 6A |
| 표시창 | LCD (back Light) 표시 및 설정 : 주파수, 출력, 기타 상태, 통신속도 등 표시 | |
| 경보 | 2 port ( 출력 리미트), 기타 알람 : RS485통신 | |
| 크기 (mm) | 284 (W) x 367 (L) x 150 (H) | 355 (W) x 485 (L) x 150 (H) |
| 중량 (kg) | 약 11kg | 약 14kg |
진동판특징
- 균일한 초음파의 음압으로 세정대상물에 Damage가 없습니다.
- 평면 PZT소자를 채용하여 유효면적내 균일한 음압을 유지합니다.
- 세정대상물의 요구출력조건에 따라 설정된 출력을 유지합니다.
- 기계강도가 크고 음향손실이 거의 없어 고효율로 긴수명을 가지고 있습니다.
- SUS304, SUS316L, 쿼츠등에 적용이 가능합니다.
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